Оборудование для лабораторий
и наукоёмких технологий

Высоковакуумными называются насосы, способные создавать вакуум в диапазоне от 0,1 до 10-5 Па (от 10-6 до 10-10 мбар). Отдельные разновидности таких насосов могут давать разрежение до 10-6 Па (10-11 мбар). Их название обусловлено техническим делением вакуума на 4 вида со следующими интервалами абсолютных значений давления:

  1. форвакуум, 1000 — 1 мбар;
  2. средний вакуум, 1 — 10-3 мбар;
  3. высокий вакуум, 10-3 — 10-7 мбар;
  4. сверхвысокий вакуум, 10-7 мбар и ниже.

Разновидности высоковакуумных насосов

Высоковакуумные насосы бывают нескольких типов, из которых самыми распространенными являются:

  • струйные (паромасляные диффузионные) — простые в устройстве насосы, не имеющие подвижных частей в конструкции, но использующие в качестве рабочей жидкости масло, что ограничивает их применение.
  • турбомолекулярные — высоковакуумные насосы сложной конструкции, но позволяющие получать вакуум высокой чистоты.
  • ионно-сорбционные — требуют создания магнитного поля для ионизации газа, поэтому имеют большую потребляемую мощность и предназначены для откачки небольших объемов газа, но при этом долговечны, надежны и способны длительное время поддерживать сверхвысокий вакуум.

Особенности работы высоковакуумных насосов

Для нормальной работы большинства высоковакуумных насосов необходимо предварительное понижение давления в системе, поэтому в них применяют двухступенчатую схему, включающую форвакуумный и высоковакуумный насосы, а в некоторых случаях, могут разрабатываться специальные производительные и надежные насосные станции, состоящие из двух и более насосов.

Области применения высоковакуумных насосов

Вакуум до 10-11 мбар применяется в области высокотехнологичных производств и научно-исследовательских лабораториях. Высоковакуумные насосы используются:

  • в производстве микросхем и приборов при нанесении тонких пленок и покрытий;
  • в экспериментальной химии и физике для изучения различных явлений и свойств веществ;
  • в течеискателях;
  • в масс-спектрометрах, лиофильных сушках и ускорителях частиц;
  • в установках для проведения экспериментов с почти космическим вакуумом.