Оборудование для лабораторий
и наукоёмких технологий

Сверхвысокий вакуум можно получать различными способами, однако технику, которая чувствительна к присутствию паров масел, необходимо подключать исключительно к безмасляному источнику вакуума. К насосам такого типа относится целый класс сорбционных насосов, которые бывают следующих типов:

  • Испарительные геттерные насосы — не относятся к ионным насосам, но имеют схожий принцип действия — вакуум достигается за счет хемосорбции активных частиц газа парами геттера. Позволяют создать вакуум от 10 до 10-11 Па. Основная сфера применения: откачка химически активных газов: N2, O2, CO, CO2, пары воды.
  • Испарительные ионно-геттерные насосы — в насосах этого типа происходит ионизация атомов или молекул газа с последующим их ускорением в электрическом поле. Ионизированные молекулы на большой скорости сталкиваются с пленкой геттера и внедряются в его структуру. Обеспечивают вакуум от 10 до 10-11 Па. Подходят для откачки активных газов и их смесей с инертными.
  • В магнитных электроразрядных насосах (магниторазрядных) ионизация газа происходит за счет электрического разряда. При этом часть газа сорбируется распыленными парами геттера, а часть оседает на катоде и его осевших на поверхности камеры в виде пленок частицах. Таким образом, принцип действия магниторазрядного насоса объединяет оба механизма поглощения откачиваемого газа, применяемых в первых двух типах насосов.

Преимущества ионных насосов

Явное преимущество магниторазрядных ионных насосов — это высокая производительность при откачке адсорбирующихся газов (H2, CH4, NH3, углеводороды). Различные модификации катода позволяют повысить эффективность насосов по отношению к инертным газам, также как и создание комбинированных решений с насосами других типов.

Еще одно достоинство конструкции — отсутствие движущихся частей, а значит и вибраций

Кроме того, в насосах не используются рабочие жидкости и смазочные вещества.

Применение ионных насосов

Ионные насосы применяются в науке и промышленности, например:

  • в электронных микроскопах,
  • ускорителях частиц,
  • масс-спектрометрах.