Оборудование для лабораторий
и наукоёмких технологий

Турбомолекулярный вакуумный насос: особенности и применение

Турбомолекулярный вакуумный насос предназначен для создания в камере разреженной атмосферы с остаточным давлением около 10-10 мбар. Производительность устройства зависит от нескольких факторов, таких как: размер фланца, скорость вращения ротора и т. д. и может превышать 2000 л/с.

Конструктивно турбомолекулярные вакуумные насосы, еще их называют гибридными насосами, представляют собой многоступенчатую конструкцию из турбо ступени и молекулярной ступени, состоящую из подвижных частей — ротора и неподвижных элементов — статоров, собранных в единое целое. Газ, увлекаемый лопастями ротора, направляется по направлению к форвакуумной линии, пластины статора служат для предотвращения возврата молекул в откачиваемый объем. Такой режим работы не возможен при атмосферном давлении, поэтому для получения высокого и сверхвысокого вакуума применяют многоступенчатую схему с промежуточным форвакуумным насосом.

Турбомолекулярные насосы не имеют масляных уплотнений, поэтому в сочетании со спиральным насосам или диафрагменным насосом, вакуумный турбомолекулярный насос позволяет получить вакуум высокой чистоты, гарантируя отсутствие в камере паров углеводородов. Это достоинство определяет основной спектр применения насосов такого типа, например, в сфере высоких технологий: при производстве полупроводниковых материалов, датчиков, при нанесении сверхчистых покрытий. Широкое применение они нашли в исследовательских лабораториях, в физике высоких энергий, физике плазмы, так же турбомолекулярные насосы обеспечивают работу различного точного аналитического оборудования.

В зависимости от назначения и режимов работы производители могут оснащать насосы дополнительными аксессуарами, например можно выбрать тип охлаждения (воздушное или водяное), система продувки подшипников для работы с такими газами как водород, и т. д.

Купить турбомолекулярный вакуумный насос можно в нашей компании. Специалисты помогут подобрать наиболее подходящую модель в полном соответствии с техническими требованиями.