Оборудование для лабораторий
и наукоёмких технологий
Вакуум до 1×10-10 мбар.
Производительность до 250 л/с.
Легкая самостоятельная сборка.
Запросить стоимость
Наука и исследования
Высоковакуумные системы, физика плазмы, физика низких температур, ускорители частиц, технология сплавов, масс-спектрометрия, анализ поверхностей
Промышленное направление
Электронные устройства, нанесение покрытий, производство фотоэлементов, лучевая сварка, термообработка

Откачной вакуумный пост TPS-Flexy вы можете создать сами! Для этого необходимо выбрать составляющие: насосы и контроллеры, а после доставки смонтировать пост за несколько минут, следуя простым инструкциям и учебному видеролику.

Можно выбрать, какие насосы станут основой поста. В качестве форвакуумных насосов можно подобрать спиральный (IDP-3 или SH-110) или мембранный (MD1) насос, а высокий вакуум обеспечат турбомолекулярные насосы TwisTorr 84 FS и TwisTorr 304 FS. Также на выбор предоставляется два контроллера: базовый и rack.

В комплект входят защитная сетка на входящий фланец турбомолекулярного насоса, подставка для монтажа, кулер для принудительного воздушного охлаждения, кабель для электропитания и программное обеспечение T-Plus для управления вакуумным постом с помощью компьютера.

Оборудование

Кат. №

Насос

Фланец

Форвак. насос

Контроллер

TwisTorr84FS

ISO63

IDP3

Базовый

X1699-64020

TwisTorr84FS

ISO63

IDP3

Rack

X1699-64040

TwisTorr84FS

KF40

IDP3

Базовый

X1699-64021

TwisTorr84FS

KF40

IDP3

Rack

X1699-64022

TwisTorr84FS

CFF4.5

IDP3

Базовый

X1699-64023

TwisTorr84FS

CFF4.5

IDP3

Rack

X1699-64041

TwisTorr84FS

ISO63

MD1

Базовый

X1699-64028

TwisTorr84FS

ISO63

MD1

Rack

X1699-64044

TwisTorr84FS

KF40

MD1

Базовый

X1699-64029

TwisTorr84FS

KF40

MD1

Rack

X1699-64030

TwisTorr84FS

CFF4.5

MD1

Базовый

X1699-64031

TwisTorr84FS

CFF4.5

MD1

Rack

X1699-64045

TwisTorr304FS

ISO100

SH110

Базовый

X1699-64032

TwisTorr304FS

ISO100

SH110

Rack

X1699-64033

TwisTorr304FS

CFF6

SH110

Базовый

X1699-64034

TwisTorr304FS

CFF6

SH110

Rack

X1699-64046

TwisTorr304FS

ISO100

IDP3

Базовый

X1699-64035

TwisTorr304FS

ISO100

IDP3

Rack

X1699-64036

TwisTorr304FS

CFF6

IDP3

Базовый

X1699-64037

TwisTorr304FS

CFF6

IDP3

Rack

X1699-64047

Параметр

Ед. изм.

Значение

Фланец

KF 40

ISO 63

CFF 4.5

Предельный вакуум

мбар

2×10-7

2×10-7

5×10-8

Производительность
(с защитной сеткой)

по азоту

л/с

38

52

52

по гелию

л/с

30

50

50

по водороду

л/с

24

35

35

Максимальная температура
отжига входного фланца

°С

80

80

120

Вес

кг

7,9

7,5

8,8

Время вакуумирования
15-литровой ёмкости

с

60 (до 17 мбар)
114 (до 1×10-4 мбар)
140 (до 1×10-5 мбар)

Скорость вращения ротора

об./мин.

81 000

Время выхода на режим

с

122

Характеристики поста на основе насосов TwisTorr 84 FS и IDP-3

Параметр

Ед. изм.

Значение

Предельный вакуум

мбар

1×10-9 (фланец CFF)
1×10-8 (фланец ISO)

Производительность по азоту
(фланец ISO 63, с защитной сеткой)

л/с

57

Максимальная температура отжига
входного фланца

°С

120 (фланец CFF)
80 (фланец KF / ISO)

Время вакуумирования
15-литровой ёмкости

с

46 (до 100 мбар)
104 (до 1 мбар)
160 (до 1×10-4 мбар)
210 (до 5×10-5 мбар)
400 (до 1×10-5 мбар)

Скорость вращения ротора

об./мин.

81 000

Время выхода на режим

с

144

Характеристики поста на основе насосов TwisTorr 304 FS и SH-110

Параметр

Ед. изм.

Значение

Производительность

по азоту

л/с

250

по гелию

л/с

255

по водороду

л/с

220

по аргону

л/с

250

Максимальная температура отжига
входного фланца

°С

80 (фланец ISO)

Скорость вращения ротора

об./мин.

60 000